磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/04 09:16:49
磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,

磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,
磁控溅射的问题,靶电流加不上去
有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高
真空度在0.5左右.
这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.
电源有蜂鸣声,电流显示和电压显示很混乱,在调回来就好了
或者加大进气量也可以,靶的冷却水温度也没问题.
中毒问题也不大 ,在低电流下练了很长时间的靶了10A(500V-700V)的电流练的靶.把电流在加高就会出现这种现象,剩余的两个靶在同样的真空度和电流下是没有问题的!电源的问题也测试过了,我把有问题的靶线跟没问题的靶给调了下,结果还是一样.

磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声,
靶材一闪一闪应该是打火现象.
电流加不上去,有很多情况.建议你提高气压,适当降低衬底温度和负偏压试试,应该能得到改善.如果电源、靶材等都没问题,有可能是磁场退化了或高温下磁场减弱了.
你们的电流10A很高啦!一般都是几毫安每平方厘米.

磁控溅射的问题,靶电流加不上去有5个靶其中3个靶加不高电流,同样的进气量下剩余的两个靶可以加的很高真空度在0.5左右.这3个靶在到一定电流以后靶会出现一闪一闪的现象.电源有蜂鸣声, 磁控溅射镀膜开靶的时候靶水没开会有什么问题吗? 直流磁控溅射和射频磁控溅射的区别是什么啊?最好详细解释一下还有就是为什么直流磁控溅射只能用金属靶材?粘贴无效哈 磁控溅射镀膜设备的工作原理?磁控溅射镀膜设备的真空度不够会有哪些影响?如何控制磁控溅射镀膜的厚度?此厚度与电流和电压的关系是什么? 磁控溅射中靶中毒是怎么回事,一般的影响因素是什么? 万用表在测量电池电流时为什么要加上一个电阻?万用表里面有很多个内阻电路组成,为什么在测量电池电流时要加上个额外电阻呢?这样起到什么作用?不加上去可以直接测量么? 磁控溅射设备 能起辉 但镀不上膜 主要的参数:靶材为铝靶,气体氩气,其它参数都没有问题但是辉光是粉色的,而且还镀不上膜 磁控溅射电流是辉光的电流吗?如果不是的话,那是指哪个电流啊? 科学电压电阻电流的问题某定值电阻两端加5伏电压时,通过该电阻的电流为0.2安.当电阻两端加8伏电压时,通过该电阻的电流是________,此时该电阻的阻值是_________;当电阻两端不加电压时,其阻 直流磁控溅射 射频磁控溅射 不同的原因 谁做过三靶磁控溅射镀膜机的设计啊,有没有希望讲讲设计思路,有图纸的私下联系.价格可以谈 在不打开真空腔的前提下,怎么判断磁控溅射靶材有没有用完,有什么特殊现象? 真空磁控溅射ITO的最佳靶基距,硅靶中频反应溅射SIO2的最佳靶基距. 关于直流电源3.6V变1.5V的问题?我想把手机的电池装在闹钟上·但我闹钟用的是1.5V的电池·串个电阻上去可以吗?但我又不知道串多大的电阻上去·也不知个闹钟的功率和电流·?要怎么选呢· 初3物理电学问题某定值电阻两端加5伏电压时,通过该电阻的电流为0.2安.当电阻两端加到8伏电压时,通过该电阻的电流时( ),此时该电阻的阻值时( ),当电阻两端不加电压时,其阻值为( 磁控溅射镀膜的应用 电解制氢溶液加五氧化二钒为什么电解制氢装置在电流提不上去的时候加五氧化二钒?原理是什么? 急.磁控溅射镀膜机的工作原理,有谁知道啊?